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真空镀膜机选购要点解读

发布时间:2018-3-3 浏览次数:14

       1、真空系统由机械泵、扩散泵、增扩泵、油增压泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。
  2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备,其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。
  3、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
  4、夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式,用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。
  5、充气方式可选用质量流量计、浮子流量计+针阀及相应的充气阀门,并可选择多路充气管路及相应流量参数。
  6、根据工艺要求选择镀制方式及形式,真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管,及其它测量仪器。膜厚测量可选用方块电阻测量仪,透过率计等。
  7、根据设备使用特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。
  8、根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。
  9、完善的报警系统,对真空室体、缺水、扩散泵断相、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。