您当前的位置:网站首页 > 新闻资讯

LOW-E玻璃镀膜设备维护要点说明

发布时间:2017-12-18 浏览次数:12

       LOW-E玻璃镀膜设备是利用真空磁控溅射方式在浮法玻璃表面进行镀膜的专业设备,镀膜舱室真空度为1.0E-6mbar的高真空,生产线采用真空磁控溅射方式在玻璃表面进行镀膜,保持高真空环境是LOW-E玻璃镀膜设备的基本条件。
       LOW-E玻璃镀膜设备由真空腔室、镀膜腔室、狭缝阀、工艺介质平台、狭缝阀、传动系统、液压设备、冷却系统、放气系统、压缩空气系统、冷却水系统等组成,采用电气程序全自动控制。玻璃基片通过传动辊道实现水平直线传输,依次经过锁室、缓冲室、过渡室进入工艺腔室,镀膜工艺完成后,经过渡室、缓冲室、锁室传出。传动辊道间通过同步齿形皮带联动,传动辊道由减速机通过施密特联轴器、刚性联轴器等与辊道相连。真空系统主要通过各种真空泵来实现,在生产线各个关键位置均安装各级真空规测量真空度。
       2LOW-E 生产线的生产特点:
       LOW-E玻璃镀膜设备的一个特点是生产的周期性,即“抽真空—真空状态生产—破空—腔室维护—抽真空”,这样周而复始进行。在生产状态下,溅射舱室内挡板及屏蔽板上沉积的溅射物逐渐增厚,会逐渐产生欠层、崩裂、脱落现象,掉落到玻璃上会影响玻璃的镀膜,造成缺陷,为此,就需要在掉落的溅射物造成的玻璃缺陷增多到一定程度时进行腔室维护,在连续的生产状态下,大约20天左右进行一次腔室维护。

       腔室维护完毕后,开始抽真空,抽真空的时间为36~48小时,期间在腔室真空达到一定程度时,进行真空测漏,真空测漏没有问题并且腔室真空达到工艺条件后,就可以进行生产准备了。维护之前的破空(从真空状态回到大气状态)需要 2 个小时,之后再对所有需要吊装的阴极及泵舱吹水之后就可以进行舱室维护了。

       从LOW-E 生产特点来看,腔室中所有设备部件的检查、维修要集中在舱室维护期间进行,并且要保证这些装置工作的可靠性,否则,如果在正常生产期间出现问题,仅仅腔室破空和抽气就需要 40 多个小时,对生产的影响巨大。因而, LOW-E 设备的检查维护是一项非常重要的工作。