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旋转阴极

发布时间:2013-12-25 浏览次数:0
具有自主知识产权的大型旋转阴极、平面阴极,采用磁流体密封设计,并选用优质耐高温磁性材料钐钴磁材,非平衡磁场,高密度磁场设计,使得阴极具有耐久性、免维护的特点,并且使靶材溅射功率密度高,冷却效果好,成膜均匀且膜层致密性好等特点。